| 企業名 | 叶寳ｻ作所 |
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| 商品・サービス名 | 卓上キュービックスパッタ装置 SSP1000 |
| 商品内容 |
SSP1000は、絶縁ターゲットも放電できるRF電源を備えたスパッタ装置です。小型ながらφ100mmエリアで膜厚分布の均一性が±5％の成膜性能を有しています。 装置本体部と電源部で構成されますが、装置本体部のみ設置面を変えることににより、成膜方向（スパッタUP，SIDE，DOWN）を自由にお選びできますので、種々の実験に貢献できる卓上設置タイプの小型スパッタ装置です。 |
| リンク先 | http://agus.co.jp |
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